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等離子清洗機是一種利用等離子體進行表面處理的設備。要理解它的工作原理，可以先想象閃電劃過天空的場景--閃電將空氣電離，產生發光的等離子體。等離子清洗機內部也發生...
[查看詳情]技術文章| Technical articles
在材料表面改性與精密清洗領域，實驗室等離子清洗機已成為眾多科研與研發環節的常規配置。隨著應用場景的不斷拓展，市場上的設備在技術路線與結構設計上呈現出多元化趨勢。本次橫評摒棄了傳統的參數羅列，從實際運行工況與物理結構出發，對當前主流實驗室臺式等離子清洗機進行客觀拆解，旨在為設備選型提供更具參考價值的底層邏輯。腔體材質與物理結構的博弈物理結構是設備穩定運行的基礎，腔體材質與電極設計直接決定了等離子體的均勻性與抗污染能力。在實測中，不銹鋼腔體與鋁合金腔體展現出不同的物理特性。采用3...
[查看詳情]應用案例
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等都能很好地進行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
改善粘合力-用于光學元件、生物醫學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；
圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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